元素分析儀是分析有機元素的自動化儀器。配備微計算機和微處理機進行條件控制和數據處理，方法簡便迅速。

碳、氫、氮分析儀

測定方法有4種：
①示差熱導法。又稱自積分熱導法。樣品的燃燒部分采用有機元素定量分析的碳、氫、氮分析方法。在分解樣品時通入一定量的氧氣助燃，以氦氣為載氣，將燃燒氣體帶過燃燒管和還原管，二管內分別裝有氧化劑和還原銅，并填充銀絲以除去干擾物（如鹵素等），zui后從還原管流出的氣體（除氦氣外只有二氧化碳、水和氮氣）通入一定體積的容器中混勻后，再由載氣帶入裝有高氯酸鎂的吸收管中以除去水分。在吸收管前后各有一熱導池檢測器，由二者響應信號之差給出水含量。除去水分的氣體再通入燒堿石棉吸收管中，由吸收管前后熱導池信號之差求出二氧化碳含量。zui后一組熱導池測量純氦氣與含氮氣的載氣信號之差，提出氮的含量。
②反應氣相色譜法。這種元素分析儀由燃燒部分與氣相色譜儀組成，燃燒裝置與上述相似，燃燒氣體由氦氣載入填充有聚苯乙烯型高分子小球的氣相色譜柱，分離為氮、二氧化碳、水3個色譜峰，由積分儀求出各峰面積，從已知碳、氫、氮含量的標準樣品中求出此3元素的換算因數，即可得出未知樣品的各元素含量。
③電導法。后兩種方法都只能同時測定碳、氫，其應用不如前兩種方法廣泛。
④電量法。又稱庫侖分析法。

氧、硫分析儀

現代測碳、氫、氮的儀器在換用燃燒熱解管后，即可用以測量氧和硫。將樣品在高溫管內熱解，由氦氣將熱解產物帶入活性碳（涂有鎳或鉑）的填充床，使氧*氧化為一氧化碳，混合氣體通過分子篩柱將各組分分離，用熱導池檢測一氧化碳求得氧含量。或將熱解氣體通過氧化銅柱，將一氧化碳氧化為二氧化碳，然后用燒堿石棉吸收進行示差熱導法測定之。硫的測定是在熱解管內填充氧化鎢等氧化劑，并且通入氧氣助氧化，使硫氧化為二氧化硫。此二氧化硫可使之通過分子篩柱用氣相色譜測量；或通過氧化銀吸收管，用示差熱導法測量。

鹵素分析儀 

含鹵素的樣品燃燒分解后生成鹵離子，常用庫侖滴定法測量；也可用離子選擇性電極測量；或以它為測量電極，直接讀取電位值，由已知電位-濃度關系求得含量；或以它為指示電極，用硝酸銀標準溶液滴定，滴定至預先調好之電位值即自動停止，由消耗的標準溶液體積計算鹵素含量。